-
Vysoce přesné keramické kroužky z oxidu hlinitého
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může dlouhodobě fungovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Keramická sklíčidla pro polovodičová zařízení ST.CERA na míru
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může dlouhodobě fungovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Keramický koncový efektor z karbidu křemíku (SiC) – vysoká tuhost pro manipulaci s destičkami za vysokých teplot
Keramický koncový efektor St.Cera SiC je vyroben z vysoce čistého karbidu křemíku (obsah SiC 99,72 %, volný Si 0,05 %) s použitím materiálu S1111. Nabízí výjimečné mechanické vlastnosti: pevnost v ohybu 449 MPa (naměřeno), modul pružnosti 457 GPa (naměřeno) a tvrdost podle Vickerse 25–28 GPa (typicky). Nízká hustota (3,10–3,15 g/cm³, typicky) poskytuje vysokou specifickou tuhost, ideální pro vysokorychlostní roboty pro přenos destiček. S tepelnou vodivostí 120–150 W/m·K (typicky) a koeficientem tepelné roztažnosti 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typicky) tento koncový efektor účinně odvádí teplo a udržuje rozměrovou stabilitu při manipulaci za vysokých teplot (až 1600–1700 °C, bez zatížení). Černošedá barva a nulová absorpce vody zajišťují kompatibilitu s čistými prostory.
-
Vakuové upínače na bázi karbidu křemíku (SiC) pro vysokoteplotní a plazmová prostředí
Keramický upínač St.Cera na bázi SiC je vyroben z vysoce čistého karbidu křemíku (šarže S1111, SiC 99,72 %, volný Si 0,05 %). Dosahuje naměřené pevnosti v ohybu 449 MPa, lomové houževnatosti 3,12 MPa·m¹/² a modulu pružnosti 457 GPa. Typická tepelná vodivost materiálu (120–150 W/m·K) a nízká tepelná roztažnost (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) umožňují rychlé zvyšování teploty a minimální deformaci destičky během tepelného cyklování. Upínač lze konfigurovat jako porézní vakuový upínač (rovnoměrné proudění plynu) nebo drážkovaný standardní upínač. Díky maximální provozní teplotě 1600–1700 °C (bez zátěže) a výjimečné odolnosti proti plazmové erozi je tento upínač ideální pro vysokoteplotní zpracování destiček (žíhání, RTP) a agresivní leptací komory, kde dochází k degradaci upínačů z oxidu hlinitého.
-
Polovodičové zařízení Keramické náhradní díly Keramické nosiče
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může dlouhodobě fungovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Brusný kroužek z oxidu hlinitého s kovovou podložkou a keramickým povrchem pro vysoce tuhé lapovací aplikace
Kovový brusný kroužek z oxidu hlinitého od společnosti St.Cera kombinuje vysoce čistý keramický otěrový kroužek z oxidu hlinitého (99,8 % Al₂O₃) s přesně opracovaným kovovým podkladem (obvykle hliník nebo nerezová ocel). Tato hybridní konstrukce poskytuje výjimečnou odolnost proti opotřebení a chemickou inertnost keramiky na brusném povrchu, zatímco kovová základna dodává mechanickou pevnost, snadnou montáž a odolnost proti křehkému lomu. Vrstva oxidu hlinitého nabízí pevnost v ohybu 361 MPa, tvrdost podle Vickerse 16 GPa a tepelnou stabilitu až do 800 °C. Kovová základna je opatřena montážními otvory, polohovacími kolíky nebo magnetickými vlastnostmi pro integraci do lapovacích strojů, planetových brusek a zařízení CMP.
-
Keramické náhradní díly pro zařízení polovodičových sond
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může dlouhodobě fungovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Zakázkové zpracování keramického upínacího pouzdra Al2O3
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může dlouhodobě fungovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Keramická deska pro polovodičová zařízení ST.CERA na míru
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může dlouhodobě fungovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
12palcový vakuový upínač z oxidu hlinitého pro zpracování 300mm destiček
12palcový vakuový upínač St.Cera je přesně vyroben z 99,8% vysoce čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pro manipulaci s wafery o průměru 300 mm. Upínač má jemně drážkovaný povrch (šířka drážky 0,5–1,0 mm, rozteč 2–3 mm), který zajišťuje rovnoměrné rozložení vakua po celém průměru 300 mm. Rovinnost je udržována v rozmezí 5 μm, což umožňuje bezdeformační fixaci waferu během řezání, broušení zadní strany a kontroly. Vysoká pevnost v ohybu (361 MPa) a tvrdost (16 GPa) materiálu zaručují dlouhodobou rozměrovou stabilitu i při opakovaných vakuových cyklech.
-
Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky s integrovanými vakuovými kanály
Vakuový koncový efektor z oxidu hlinitého od společnosti St.Cera integruje přesně obrobené vakuové kanály a sací otvory přímo do tělesa z 99,8% oxidu hlinitého s vysokou čistotou. Tato konstrukce eliminuje vnější vakuové podložky, což umožňuje přímé snímání destičky s rovnoměrnou přídržnou silou. Vysoká pevnost v ohybu (361 MPa) a tvrdost (16 GPa) materiálu zajišťují dlouhodobou rozměrovou stabilitu i při opakovaných vakuových cyklech. Rovinnost napříč plochou podložky je udržována v rozmezí 10 μm, což zabraňuje namáhání a zlomení destičky. Vakuové porty jsou umístěny na zadní montážní přírubě pro snadnou integraci s robotickými rameny OEM.
-
Keramické díly z oxidu hlinitého odolné proti elektrostatické elektřině pro manipulaci s destičkami citlivými na statickou elektřinu
Keramické díly z oxidu hlinitého odolné proti elektrostatickému výboji (ESD) od společnosti St.Cera jsou vyrobeny z 99,8% vysoce čistého Al₂O₃ s povrchovým odporem 10⁶–10⁹ Ω/sq, čehož je dosaženo patentovaným procesem dopování nebo povlakování. Tyto díly účinně odvádějí statický náboj a zabraňují elektrostatickému poškození citlivých polovodičových destiček a součástek. Základní materiál si zachovává vysokou pevnost v ohybu (361 MPa), tvrdost (16 GPa) a dielektrickou pevnost (15×10⁶ V/m). Mezi keramické díly odolné proti ESD patří koncové efektory, zvedací čepy, vodicí lišty a zakázkové přípravky pro automatizaci FAB.
