Keramický koncový efektor z karbidu křemíku (SiC) – vysoká tuhost pro manipulaci s destičkami za vysokých teplot
Keramický koncový efektor St.Cera SiC je vyroben z vysoce čistého karbidu křemíku (obsah SiC 99,72 %, volný Si 0,05 %) s použitím materiálu S1111. Nabízí výjimečné mechanické vlastnosti: pevnost v ohybu 449 MPa (naměřeno), modul pružnosti 457 GPa (naměřeno) a tvrdost podle Vickerse 25–28 GPa (typicky). Nízká hustota (3,10–3,15 g/cm³, typicky) poskytuje vysokou specifickou tuhost, ideální pro vysokorychlostní roboty pro přenos destiček. S tepelnou vodivostí 120–150 W/m·K (typicky) a koeficientem tepelné roztažnosti 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typicky) tento koncový efektor účinně odvádí teplo a udržuje rozměrovou stabilitu při manipulaci za vysokých teplot (až 1600–1700 °C, bez zatížení). Černošedá barva a nulová absorpce vody zajišťují kompatibilitu s čistými prostory.
Specifikace(na základě dodané zkušební zprávy SiC S1111 a typických hodnot)):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % volného Si) |
| Barva | Černá/šedá |
| Hustota | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorpce vody | 0% |
| Pevnost v ohybu | 449 MPa (průměr) |
| Lomová houževnatost | 3,12 MPa·m¹/² (průměr) |
| Modul pružnosti | 457 GPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 25–28 GPa |
| Tepelná vodivost (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| Součinitel tepelné roztažnosti (25–1000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maximální provozní teplota (bez zatížení) | 1600–1700 °C |
Aplikace:
● Manipulace s destičkami za vysokých teplot (po žíhání, RTP, epitaxe)
● Plazmové leptací komory vyžadující vysokou odolnost proti erozi
● Vysokorychlostní roboti pro přesun (lehké, s vysokou tuhostí)
Výrobní:
Spékání prášku SiC → přesné CNC broušení profilu ramene a montážních prvků → lapování povrchů → ultrazvukové čištění. 100% rozměrová kontrola a zkouška těsnosti héliem pro vakuové aplikace.
Kontrola kvality:
● Kontrola délky, šířky a rovinnosti pomocí souřadnicového měřicího stroje (CMM)
● Zkouška pevnosti v ohybu na šarži (podle normy zkušebního protokolu)
● Vizuální kontrola pod mikroskopem na povrchové vady
Výhody oproti oxidu hlinitému nebo kovu:
● 2× vyšší modul pružnosti (457 oproti ~380 GPa pro oxid hlinitý) – menší průhyb
● 3× vyšší tepelná vodivost – rychlejší odvod tepla
● Odolává teplotám >1600 °C oproti 800 °C u oxidu hlinitého na vzduchu
● Nižší hustota než ocel – o 40 % nižší hmotnost
Přizpůsobení:
Délky 150–450 mm, tvary hrotů (s úchopem hrany, Bernoulliho, plochý), montážní schémata přírub dle výkresu výrobce.
*Všechny výše uvedené mechanické údaje pocházejí z dodaného zkušebního protokolu (šarže S1111). Tepelné hodnoty a hodnoty tvrdosti jsou typické pro tuto jakost SiC; pro certifikaci specifické pro danou šarži nás prosím kontaktujte.*
