Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky s integrovanými vakuovými kanály
Vakuový koncový efektor z oxidu hlinitého od společnosti St.Cera integruje přesně obrobené vakuové kanály a sací otvory přímo do tělesa z 99,8% oxidu hlinitého o vysoké čistotě. Tato konstrukce eliminuje vnější vakuové podložky, což umožňuje přímé snímání destičky s rovnoměrnou přídržnou silou. Vysoká pevnost v ohybu (361 MPa) a tvrdost (16 GPa) materiálu zajišťují dlouhodobou rozměrovou stabilitu i při opakovaných vakuových cyklech. Rovinnost napříč plochou podložky je udržována v rozmezí 10 μm, což zabraňuje namáhání a zlomení destičky. Vakuové porty jsou umístěny na zadní montážní přírubě pro snadnou integraci s robotickými rameny OEM.
Specifikace(na bázi 99,8 % Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Youngův modul | 380 GPa |
| Tepelná roztažnost | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Rovinnost podložky | ≤10 μm |
| Šířka vakuového kanálu | 0,5–2,0 mm |
| Maximální provozní teplota | 800 °C |
Aplikace:
● Vakuové sběrné zařízení tenkých nebo deformovaných waferů
● Přímá manipulace s destičkami bez uchopení hran
● Přenos substrátu solárních článků a LED diod
Výrobní:
Slinutý oxid hlinitý → 5osé CNC vrtání vakuových kanálů a otvorů → lapování povrchů → ultrazvukové čištění → zkouška těsnosti héliem. Každý efektor je 100% testován průtokem na rovnoměrnost vakua.
Výhody:
● Žádné externí přísavky (snižuje zdroje částic)
● Rovnoměrný přítlak zabraňuje poškrábání destičky
● Chemicky inertní a kompatibilní s čistými prostory
