-
Koncový efektor z vysoce čistého oxidu hlinitého s keramikou pro roboty pro manipulaci s destičkami
Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky od společnosti St.Cera je přesně obráběn z vysoce čistého Al₂O₃ s obsahem 99,8 % pomocí pokročilého 5osého CNC brousicího zařízení. Naše výrobní kapacity zahrnují přesné brusky a CNC obráběcí centra, což umožňuje složité geometrie s vysokou přesností. Koncový efektor se vyznačuje tenkým profilem (až 1,5 mm) se zúženou náběžnou hranou pro hladké zavádění destičky. Materiál poskytuje vysokou tuhost (Youngův modul 380 GPa), vynikající odolnost proti opotřebení a tepelnou stabilitu až do 800 °C. Každá jednotka je přesně broušena pro dosažení rovinnosti 0,003 mm, rovnoběžnosti 0,002 mm a povrchové úpravy Ra0,1, což zajišťuje konzistentní kontakt s destičkou a provoz bez částic v prostředí polovodičových FAB. K dispozici v délkách od 150 mm do 450 mm, s vlastní geometrií hrotů (hranový úchop, Bernoulliho, plochý) a montážními přírubami pro roboty OEM. Možnosti povrchové úpravy zahrnují lapování, leštění nebo antistatický povlak (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
ST.CERA Koncový efektor Bernoulli z oxidu hlinitého a keramiky na míru
Jako přední výrobce keramických koncových efektorů / manipulačních ramen jsme vyvinuli nekonvenční koncový efektor / manipulační rameno, které reaguje na potřeby tohoto trhu. Keramický koncový efektor / manipulační rameno založené na principu Bernoulliho, které dokáže levitovat a přepravovat destičku prouděním vzduchu s minimálním periferním kontaktem.
-
ST.CERA keramický koncový efektor ESD na míru
Díky vysokým teplotním vlastnostem, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika dlouhodobě pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
-
ST.CERA Uchopovací koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky na míru
Díky vysokým teplotním vlastnostem, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika dlouhodobě pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
-
Koncový efektor misky z oxidu hlinitého s vlastním zpracováním ST.CERA
Jedná se o keramický koncový efektor / manipulační rameno táckového typu používané ve vakuu.
Keramický koncový efektor / manipulační rameno je „tepelně odolnější“, „méně se vychyluje“ a „lehčí“ ve srovnání s kovovými.
-
ST.CERA Zakázkový vakuový koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky
Díky vysokým teplotním vlastnostem, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika dlouhodobě pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
-
Koncový efektor z keramiky s oxidem hlinitým na míru ST.CERA
ST.CERA nabízí ESD povlak a ESD keramický materiál. Koncový efektor je vyroben z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, spékáním za vysokých teplot a přesným konečným zpracováním, dosahuje rozměrové tolerance ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
ST.CERA vakuový koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky na míru
Jedná se o keramický koncový efektor / manipulační rameno táckového typu používané ve vakuu.
Keramický koncový efektor / manipulační rameno je „tepelně odolnější“, „méně se vychyluje“ a „lehčí“ ve srovnání s kovovými.
Díky vysokým teplotním vlastnostem, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika dlouhodobě pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Manipulace s wafery koncového efektoru z oxidu hlinitého a keramiky na míru ST.CERA
ST.CERA nabízí koncové efektory/manipulační ramena s ESD povlakem a ESD keramickým materiálem s vestavěným dutým kanálem. Specializujeme se na techniku, která vytváří vakuový vzduchový kanál uvnitř jednoho kusu materiálu bez použití lepidla.
Nehrozí žádné riziko kontaminace, úniku plynů ani částic. Vakuový koncový efektor / manipulační rameno ST.CERA se speciální technologií povlakování je elektricky izolované. Můžeme také dodat keramický materiál ESD, který je elektricky izolovaný bez jakéhokoli povlaku.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃. -
Komponenty polovodičového zařízení z oxidu hlinitého a keramického koncového efektoru
Zabraňte vniknutí částic, které se mohou vytvářet ze zkosených nebo šikmých hran a zadního povrchu během přepravy destiček nebo jejich kontaktu s koncovým efektorem / manipulačním ramenem.
Pro vodítka byl použit měkký materiál, který nepoškozuje destičku.
Ředění je možné díky vestavěné technologii vakuových kanálů ST.CERA, která nepoužívá lepidla.
Je možné vytvořit montážní otvory a změnit délku a šířku základny, kde je na robotu namontován koncový efektor / manipulační rameno.
Montáž senzorů, šroubů a konzol je k dispozici jako volitelná výbava.
Určeno pro použití v atmosféře.
-
Zakázkové CNC obrábění keramického koncového efektoru St.Cera
ST.CERA nabízí vakuový keramický koncový efektor / manipulační rameno s vestavěným dutým kanálem. Specializujeme se na techniku, která vytváří vakuový vzduchový kanál uvnitř jednoho kusu materiálu bez použití lepidla.
Nehrozí žádné riziko kontaminace, uvolňování plynů ani částic. Vakuové koncové efektory/manipulační ramena ST.CERA s vestavěným kanálem jsou odolné a lze je používat při vysokých teplotách. Navíc lze snížit naše výrobní náklady eliminací zbytečné montáže.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Koncový efektor z antistatického keramického oxidu hlinitého
Díky vysokým teplotním vlastnostem, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika dlouhodobě pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
