12palcový vakuový upínač z oxidu hlinitého pro zpracování 300mm destiček
12palcový vakuový upínač St.Cera je přesně vyroben z 99,8% vysoce čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pro manipulaci s wafery o průměru 300 mm. Upínač má jemně drážkovaný povrch (šířka drážky 0,5–1,0 mm, rozteč 2–3 mm), který zajišťuje rovnoměrné rozložení vakua po celém průměru 300 mm. Rovinnost je udržována v rozmezí 5 μm, což umožňuje bezdeformační fixaci waferu během řezání, broušení zadní strany a kontroly. Vysoká pevnost v ohybu (361 MPa) a tvrdost (16 GPa) materiálu zaručují dlouhodobou rozměrovou stabilitu i při opakovaných vakuových cyklech.
Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Průměr | 300 mm (12 palců) |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Rovinnost (nad 300 mm) | ≤5 μm |
| Šířka drážky | 0,5–1,0 mm |
| Maximální provozní teplota | 800 °C |
| Dielektrická pevnost | 15×10⁶ V/m |
Aplikace:
Krájení a rýsování oplatek o průměru 300 mm
Broušení zadní strany destičky (tenká podpěra destičky)
Optická kontrola a sondování
Dočasné spojovací/debondingové upínače
Výrobní:
CNC broušeno a lapováno do konečné rovinnosti, drážkováno diamantovými kotouči, ultrazvukově čištěno a baleno v čisté místnosti třídy 100. Každé sklíčidlo je 100% kontrolováno na rovinnost (laserový interferometr) a hloubku drážky (profilometr).
Výhody:
Nízká tvorba částic (≤0,05 částic/cm²)
Chemicky inertní vůči rozpouštědlům a kyselinám
Povrch odolný vůči elektrostatickému výboji (měrný odpor >10¹³ Ω·cm)
K dispozici jsou vlastní vzory vakuových otvorů a zadních portů.
