Keramické díly z oxidu hlinitého odolné proti elektrostatické elektřině pro manipulaci s destičkami citlivými na statickou elektřinu
Keramické díly z oxidu hlinitého odolné proti elektrostatickému výboji (ESD) od společnosti St.Cera jsou vyrobeny z 99,8% vysoce čistého Al₂O₃ s povrchovým odporem 10⁶–10⁹ Ω/sq, čehož je dosaženo patentovaným procesem dopování nebo povlakování. Tyto díly účinně odvádějí statický náboj a zabraňují elektrostatickému poškození citlivých polovodičových destiček a součástek. Základní materiál si zachovává vysokou pevnost v ohybu (361 MPa), tvrdost (16 GPa) a dielektrickou pevnost (15×10⁶ V/m). Mezi keramické díly odolné proti ESD patří koncové efektory, zvedací čepy, vodicí lišty a zakázkové přípravky pro automatizaci FAB.
Specifikace(na bázi 99,8% Al₂O₃ s ESD úpravou):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Základní materiál | 99,8% oxidu hlinitého |
| Povrchový odpor (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Youngův modul | 380 GPa |
| Tepelná roztažnost (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maximální provozní teplota | 800 °C |
| Dielektrická pevnost (objemová) | 15×10⁶ V/m |
Poznámka: Povrchový odpor ESD není uveden v dodaných tabulkách materiálových vlastností. Výše uvedený rozsah je průmyslovým standardem pro disipativní keramiku. Pro zprávy o zkouškách nás prosím kontaktujte.
Aplikace:
● Koncové efektory odolné proti elektrostatickému výboji pro přenos destiček
● Zemnící kolíky a ESD příslušenství v zařízeních FAB
● Otestujte zásuvky na zařízení citlivá na statickou elektřinu
● Nástroje pro čisté prostory, kde je statická kontrola klíčová
Výroba a kvalita:
Standardní zpracování oxidu hlinitého + povrchová úprava ESD → povrchový odpor měřen dle ANSI/ESD STM11.11. Každý díl je 100% testován soustřednou prstencovou elektrodou.
Výhody:
● Zabraňuje ztrátě výtěžnosti způsobené elektrostatickým výbojem
● Zachovává mechanickou pevnost a chemickou odolnost keramiky
● Žádné generování částic v důsledku statického výboje
