Porézní keramický vakuový upínač pro manipulaci s deformovanými destičkami
Porézní keramický upínač St.Cera je vyroben z vysoce čistého oxidu hlinitého s rovnoměrnou otevřenou pórovitostí 30–45 % a velikostí pórů od 10 do 100 μm. Na rozdíl od konvenčních drážkovaných upínačů poskytuje porézní povrch rozložené vakuum po celé zadní straně destičky a účinně drží deformované, tenké nebo jednotlivé destičky bez odlepování nebo lámání hran. Jemné vakuum (nastavitelné pomocí omezovače) také zabraňuje vzniku stop na zadní straně.
Specifikace(na základě 99,6% Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Pórovitost | 30–45 % |
| Průměrná velikost pórů | 10–100 μm (volitelné) |
| Pevnost v ohybu | ≥250 MPa |
| Rovinnost (nad 300 mm) | ≤5 μm |
| Povrchová úprava | Lapované (Ra 0,8 μm) |
| Maximální úroveň vakua | -80 kPa |
| Provozní teplota | 400 °C (vzduch), 600 °C (inertní) |
| Materiál | 99,6 % Al203, Zr02 nebo SiC |
Aplikace:
Broušení zadní strany tenkých destiček (≤50 μm)
Zkroucený úchyt destičky pro krájení
Jednoduché vyjímání matrice z pásky
Manipulace se skleněnými panely
Výroba a kvalita:
Keramický prášek smíchaný s organickými pórotvornými látkami → lisovaný → slinutý → lapovaný na konečnou tloušťku. Každý upínač je testován průtokem na rovnoměrnost vakua (odchylka ≤ 5 %) a kontrolován na distribuci velikosti pórů (SEM). Rovinnost měřena laserovým interferometrem.
Výhody oproti drážkovaným sklíčidlům:
Žádné značení okrajů destičky ani posun čipu
Udrží deformované wafery (až do tloušťky prohnutí 500 μm)
Eliminuje ucpávání vakuového otvoru
Samonivelační podklad pro tenké podklady
Přizpůsobení:
Kulaté nebo obdélníkové tvary, velikost až 600 mm. Můžeme použít těsnicí kroužky na okraje nebo zónové vakuové přepážky. Pro požadavky na vysokou tuhost jsou k dispozici verze s kovovou zadní stranou.
Vyžádejte si vzorek pro test velikosti a deformace vaší destičky.
