Deska pro rozdělování plynu z oxidu hlinitého pro sprchovou hlavici CVD/PVD
Deska pro distribuci plynu (sprchová hlavice) od společnosti St.Cera je přesně vyrobena z vysoce čisté keramiky z oxidu hlinitého s obsahem 99,8 %. Je vybavena řadou mikrootvorů (o průměru 0,3–1,5 mm), které zajišťují rovnoměrný tok plynu po povrchu destičky během procesů CVD, PVD nebo ALD. Vysoká dielektrická pevnost destičky (>15×10⁶ V/m) a odolnost vůči plazmatu z ní činí nezbytnou součást depozice tenkých vrstev polovodičů.
Specifikace:
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % Al₂O₃ nebo SiC |
| Průměr | 100 – 1500 mm (kulaté) nebo obdélníkové |
| Tloušťka | 5 – 20 mm |
| Průměr otvoru | 0,3 – 1,5 mm |
| Vzor otvorů | Vlastní (trojúhelníkový, čtvercový, radiální) |
| Plochost | ≤10 μm po celé ploše |
| Drsnost povrchu | Ra ≤0,6 μm (strana plynu) |
| Poměr otevřené plochy | 5–15 % |
Aplikace:
PECVD sprchové hlavice
Vstřikovače plynu ALD
Desky pro distribuci plynu v leptací komoře
Součásti reaktoru MOCVD
Výrobní:
Ploché lapování substrátu z oxidu hlinitého → CNC vrtání diamantovými nástroji (tolerance polohy otvoru ±0,02 mm) → odjehlování → ultrazvukové čištění → Balení třídy 100.
Kontrola kvality:
Každá deska je 100% zkontrolována z hlediska velikosti otvoru (systém vidění), rovinnosti (laserový interferometr) a rovnoměrnosti proudění plynu (mapování tlaku). Pod 20násobným zvětšením nejsou patrné žádné mikrotrhliny.
Výhody oproti kovovým deskám:
Žádná kovová kontaminace v tenkých vrstvách
Nižší tvorba částic (žádné korozní vločky)
Odolává agresivnímu čisticímu plazmatu (CF₄, NF₃)
Vlastní funkce:
Zadní plynové kanály, zahloubené otvory, těsnění hran a různé druhy materiálů (SiC pro vyšší tepelnou vodivost, povlak Y₂O₃ pro odolnost vůči plazmatu).
Před výrobou zajišťujeme CAD ověření a simulaci proudění.
