Vysoce čistý keramický kroužek z oxidu hlinitého pro procesní komory CVD/PVD

Keramický kroužek od společnosti St.Cera je speciálně navržen pro použití v procesních komorách CVD (chemická depozice z plynné fáze) a PVD (fyzikální depozice z plynné fáze). Tento kroužek, vyrobený z 99,8% vysoce čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), slouží jako vložka komory, zaostřovací kroužek nebo součást procesní sady k omezení plazmatu a ochraně stěn komory před erozí. Materiál nabízí vynikající odolnost vůči plazmatu, vysokou dielektrickou pevnost (15×10⁶ V/m) a tepelnou stabilitu až do 1600 °C, což zajišťuje dlouhou životnost v agresivním prostředí plazmatu na bázi fluoru. Přesné rozměrové tolerance (±0,05 mm na vnitřním/vnějším průměru) a rovinnost (≤10 μm) umožňují konzistentní polohování hran destičky, zlepšují rovnoměrnost depozice a snižují tvorbu částic.

Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃):

Aplikace:

• · Zaostřovací kroužky a okrajové kroužky komory CVD
• · Krycí kroužky a upínací kroužky komory PVD
• · Vložky a krycí kroužky leptací komory
• · Plazmové omezovací kroužky v dielektrických leptacích systémech

Výrobní proces:

Izostatické lisování → zelené obrábění → spékání při 1600 °C → CNC broušení vnitřního/vnějšího průměru → lapování povrchu → ultrazvukové čištění → 100% kontrola souřadnicovým měřicím přístrojem (CMM). Ultrahladká povrchová úprava (Ra ≤ 0,4 μm) minimalizuje ulpívání částic.

Kontrola kvality:

• · 100% kontrola rozměrů (vnitřní průměr, vnější průměr, tloušťka, rovinnost)
• · Kontrola povrchových mikrotrhlin penetrací barviva
• · Zkouška dielektrické pevnosti dle ASTM D149
• · Žádné viditelné změny barvy ani poréznost pod 20× mikroskopem

Výhody oproti kovovým nebo křemenným prstenům:

• · 5–10× delší životnost než hliníkové kroužky ve fluorové plazmatu
• · Žádná kontaminace kovy v tenkých vrstvách
• · Vyšší odolnost vůči plazmatu než křemen (žádné eroze)
• · Zachovává elektrickou izolaci >10¹⁴ Ω·cm i po dlouhodobém používání

Alternativní materiál — nitrid křemíku (Si₃N₄):

Pro aplikace vyžadující ještě vyšší lomovou houževnatost (6,2 MPa·m¹/²) a lepší odolnost proti tepelnému šoku (koeficient roztažnosti 3,2×10⁻⁶/℃) jsou k dispozici kroužky Si₃N₄. Pro většinu aplikací CVD/PVD je však oxid hlinitý cenově výhodnější. Při objednávce prosím uveďte preferovaný materiál.

Přizpůsobení:

• · Průchozí otvory, stupňovité profily nebo zahloubení pro montáž
• · Povrch potažený Y₂O₃ pro zvýšenou odolnost vůči plazmatu (volitelné)
• · Laserové gravírování čísla dílu / kódu šarže

Poznámka:Výše uvedené údaje přesně odpovídají dodané tabulce vlastností Al₂O₃. Pro kroužky Si₃N₄ se řiďte samostatným datovým listem Si₃N₄.