Keramický podpěrný kolík pro polovodičové procesní přípravky
Keramické podpůrné kolíky St.Cera (známé také jako zvedací kolíky nebo podpůrné kolíky) se používají v komorách pro polovodičové procesy ke zvedání destiček nebo substrátů během manipulace, ohřevu nebo chlazení. Tyto kolíky, vyrobené z 99,8% oxidu hlinitého nebo nitridu křemíku, nabízejí vysokou pevnost v tlaku, tepelnou stabilitu a chemickou odolnost. Polokulový nebo plochý design hrotu zabraňuje poškrábání destičky.
Specifikace(Oxid hlinitý 99,8 %):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % Al₂O₃ nebo Si₃N₄ |
| Délka | 10 – 100 mm |
| Průměr | 1 – 10 mm |
| Tvar hrotu | Plochý, polokulovitý, špičatý |
| Pevnost v tlaku (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Max. provozní teplota (Al₂O₃) | 1600 °C |
| Povrchová úprava | Lapované (Ra ≤0,4 μm) |
| Tolerance průměru | ±0,01 mm |
Aplikace:
Zvedací čepy v komorách CVD/PVD
Podpěrné kolíky pro pečení na horké plotýnce
Nosné struktury pro karty sond
Podpěry lodí z křemenné pece
Výrobní:
Přesné bezhroté broušení vnějšího průměru → diamantové broušení profilu hrotu → ultrazvukové čištění → 100% rozměrová kontrola.
Kontrola kvality:
Souřadnicový měřicí stroj pro délku/průměr, optický komparátor pro poloměr hrotu, zatěžovací zkouška pro ověření pevnosti v tlaku (náhodný vzorek na šarži). Žádná feromagnetická kontaminace (ověřeno magnetem).
Výhody oproti kovovým nebo křemenným kolíkům:
5x delší životnost než u nerezové oceli
Žádná kontaminace kovem v procesní komoře
Vyšší teplotní odolnost než křemen (1600 °C oproti 1100 °C)
Nepřilnavý povrch (snížená přilnavost částic)
Přizpůsobení:
Více profilů hrotů, závitová základna nebo kuželová hřídel.
Dodáváme také SiC piny pro extrémní plazmová prostředí.
