Teflonem potažený keramický koncový efektor – nepřilnavý povrch pro citlivou manipulaci s destičkami
Teflonový (PTFE) povlak z keramiky od společnosti St.Cera kombinuje vysoce pevný substrát z oxidu hlinitého s rovnoměrným povlakem z PTFE s nízkým třením (tloušťka 15–30 μm). Povlak poskytuje extrémně nízký koeficient tření (≤0,1), vynikající chemickou odolnost a nepřilnavé vlastnosti, čímž zabraňuje přilnutí destiček a eliminuje kontaminaci zadní strany. Podkladový keramický substrát (99,8 % Al₂O₃) nabízí vysokou pevnost v ohybu (361–1000 MPa), odolnost proti opotřebení a tepelnou stabilitu až do 260 °C (limit povlaku). Tento koncový efektor je ideální pro manipulaci s jemnými, tenkými nebo lepkavými destičkami (např. po fotorezistním povlaku nebo chemických procesech).
Specifikace (na základě substrátu s 99,8 % Al₂O₃ a povlakem PTFE):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál substrátu | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Potahový materiál | PTFE (teflon) |
| Tloušťka povlaku | 15–30 μm |
| Součinitel tření (s povlakem) | ≤0,1 |
| Pevnost substrátu v ohybu (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Tvrdost substrátu (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Hustota substrátu | 3,93 g/cm³ |
| Maximální provozní teplota (limit nátěru) | 260 °C |
| Drsnost povrchu (před povlakováním) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrická pevnost (substrát) | 15×10⁶ V/m |
Poznámka: Povlak PTFE omezuje maximální teplotu na 260 °C; pro aplikace s vyššími teplotami zvažte nepovlakovanou keramiku nebo jiné povlaky.
Aplikace:
- · Manipulace s destičkami po nanesení fotorezistu (lepivé povrchy)
- · Přenos tenkých nebo křehkých oplatek (zabraňuje slepování)
- · Nástroje pro kontrolu a metrologii polovodičů
- · Automatizace čistých prostor, kde je nutné minimalizovat kontaminaci částicemi
Výrobní proces:
Keramický substrát slinutý a přesně broušený → zdrsnění povrchu (plazmové leptání nebo otryskávání) → PTFE nástřik → vytvrzení teplem při 380 °C → závěrečná kontrola. Každý koncový efektor je kontrolován na tloušťku povlaku (vířivými proudy), adhezi (zkouška křížovým řezem ASTM D3359) a koeficient tření.
Kontrola kvality:
100% vizuální kontrola na přítomnost pórů nebo bublin; rovnoměrnost tloušťky povlaku v rozmezí ±5 μm; žádná delaminace po zkoušce ohybem 90° na svědeckém útvaru. Rozměrová kontrola dle tolerance výrobce (délka ±0,05 mm, rovinnost ≤0,1 mm).
Výhody oproti nepotahovaným nebo jiným povlakům:
- · Nepřilnavý povrch zabraňuje přilnutí a zlomení oplatky
- · Nejnižší koeficient tření mezi keramickými povlaky
- · Vynikající chemická odolnost (kyseliny, zásady, rozpouštědla)
- · Snižuje tvorbu částic tím, že brání přenosu materiálu
Omezení (poznámky k odchylkám materiálu):
Povlak PTFE není odvozen z poskytnutých tabulek vlastností materiálů (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Vlastnosti substrátu striktně odpovídají dodanému datovému listu (99,8 % Al₂O₃). Vlastnosti povlaku jsou založeny na standardních specifikacích PTFE v průmyslu, protože nebyly poskytnuty žádné údaje o povlaku. Pro aplikace přesahující 260 °C se doporučuje nepovlakovaný keramický koncový efektor.*
Přizpůsobení:
K dispozici v délkách 150–1500 mm, tvary hrotů (s úchopem hrany, Bernoulliho, ploché), montážní vzory přírub dle výkresu výrobce. Volitelné částečné povlakování (pouze kontaktní plochy) nebo plné povlakování.
Vyžádejte si vzorek pro zkoušky adheze a tření.
