Porézní keramický vakuový upínač na bázi oxidu hlinitého pro manipulaci s tenkými destičkami
Porézní upínací pouzdro St.Cera na bázi oxidu hlinitého je vyrobeno z 99,6 % vysoce čistého Al₂O₃ s řízenou otevřenou pórovitostí 30–45 % a rovnoměrnou velikostí pórů v rozmezí od 10 do 50 μm. Na rozdíl od drážkovaných upínacích pouzder poskytuje porézní povrch rozložené vakuum po celé zadní straně destičky, čímž eliminuje vytváření značek na okrajích a umožňuje jemné uchycení ultratenkých (≤100 μm) nebo deformovaných destiček. Materiál nabízí pevnost v ohybu ≥250 MPa a tepelnou stabilitu až do 400 °C na vzduchu.
Specifikace(na základě 99,6% Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,6% oxid hlinitý (bílý) |
| Pórovitost | 30–45 % (nastavitelné) |
| Průměrná velikost pórů | 10–50 μm |
| Pevnost v ohybu | ≥250 MPa |
| Hustota | 3,88 g/cm³ |
| Rovinnost (nad 200 mm) | ≤5 μm |
| Maximální provozní teplota | 400 °C (vzduch) |
| Povrchová úprava | Lapované (Ra ≤0,8 μm) |
Aplikace:
- · Broušení zadní strany tenkých destiček (≤50 μm)
- · Zkroucený úchyt destičky pro krájení
- · Jednoduchý sběrač matrice
- · Manipulace se skleněným substrátem
Výrobní:
Prášek smíchaný s pórotvornými látkami → izostatické lisování → spékání při 1600 °C → lapování na konečnou tloušťku. Každý upínač je testován průtokem na rovnoměrnost vakua (odchylka tlaku <5 %) a kontrolován na distribuci velikosti pórů (SEM).
Výhody oproti běžným upínačům:
- · Žádné značení zadní strany destičky ani posun čipu
- · Udrží destičky s prohnutím až 500 μm
- · Samočisticí povrch (póry odolávají ucpávání)
- · Jednotná opora eliminuje lokální namáhání
Cpřizpůsobení:
Kulaté nebo čtvercové tvary, průměr 100–450 mm. K dispozici je těsnicí kroužek na okrajích pro zónovou regulaci vakua.
Vyžádejte si vzorek pro vaši konkrétní velikost oplatky.
