Vakuový upínač z oxidu hlinitého pro přesné krájení a mletí
Vakuový upínač z oxidu hlinitého od společnosti St.Cera je vyroben z 99,8% vysoce čistého Al₂O₃ s přesně opracovanými vakuovými drážkami. Naše schopnost přesného broušení dosahuje rovinnosti 0,003 mm a rovnoběžnosti 0,002 mm, což zajišťuje bezdeformační fixaci destiček během řezání, broušení zadní strany a kontroly. Materiál nabízí vysokou pevnost v ohybu (361 MPa), tvrdost (16 GPa) a tepelnou stabilitu až do 800 °C. K dispozici je v kulatých formátech s vnějším průměrem (OD) až 600 mm a obdélníkových tvarech s délkou až 1500 mm. Vakuové drážky jsou navrženy na míru (soustředné, radiální nebo mřížkové vzory) tak, aby vyhovovaly specifickým požadavkům procesu. Každý upínač je kontrolován laserovým interferometrem a dodáván s ověřovací zprávou o rovinnosti.
Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃a výrobní kapacity společnosti St.Cera):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Vnější průměr (max.) | 600 mm |
| Tloušťka (max.) | 100mm |
| Délka (max.) | 1500 mm |
| Plochost | 0,003 mm |
| Rovnoběžnost | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0,1 |
| Maximální provozní teplota | 800 °C |
Aplikace:
- · Krájení a rýsování oplatek (200 mm/300 mm a větší)
- · Broušení tenkých destiček ze zadní strany
- · Optická inspekce a sondování
- · Manipulace s velkým substrátem
Přesnost výroby:
- · Přímost: 0,005 mm
- · Kolmost: 0,005 mm
- · Kruhovitost: 0,002 mm
- · Soustřednost: 0,01 mm
