Koncový efektor z vysoce čistého oxidu hlinitého s keramikou pro roboty pro manipulaci s destičkami
Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky od společnosti St.Cera je přesně obráběn z vysoce čistého Al₂O₃ s obsahem 99,8 % pomocí pokročilého 5osého CNC brousicího zařízení. Naše výrobní kapacity zahrnují přesné brusky a CNC obráběcí centra, což umožňuje složité geometrie s vysokou přesností. Koncový efektor se vyznačuje tenkým profilem (až 1,5 mm) se zúženou náběžnou hranou pro hladké zavádění destiček. Materiál poskytuje vysokou tuhost (Youngův modul 380 GPa), vynikající odolnost proti opotřebení a tepelnou stabilitu až do 800 °C. Každá jednotka je přesně broušena pro dosažení rovinnosti 0,003 mm, rovnoběžnosti 0,002 mm a povrchové úpravy Ra0,1, což zajišťuje konzistentní kontakt s destičkami a provoz bez částic v prostředí polovodičových FAB. K dispozici v délkách od 150 mm do 450 mm, s vlastní geometrií hrotů (hranový úchop, Bernoulliho, plochý) a montážními přírubami pro roboty OEM. Možnosti povrchové úpravy zahrnují lapování, leštění nebo antistatický povlak (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃a výrobní kapacity společnosti St.Cera):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Youngův modul | 380 GPa |
| Plochost | 0,003 mm |
| Rovnoběžnost | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0.1 (lapované/leštěné) |
| Maximální provozní teplota | 800 °C |
| Rozsah délky | 150–450 mm |
Aplikace:
- · Přenos destiček ve vakuových a atmosférických robotech
- · Koncové efektory FAB pro automatizaci waferů 200 mm/300 mm
- · Manipulace s tenkými destičkami (s možností ESD)
Výrobní kapacity:
Naše přesné brusky a CNC obráběcí centra umožňují výrobu složitých keramických součástek s:
- · Maximální délka obrábění: 1500 mm
- · Maximální vnější průměr: 600 mm
- · Minimální vnitřní průměr: 0,2 mm
- · Maximální tloušťka: 100 mm
Kontrola kvality:
Přímost 0,005 mm, kolmost 0,005 mm, kruhovitost 0,002 mm, rovnoběžnost 0,002 mm, soustřednost 0,01 mm ověřeno pomocí SMS. Každá jednotka je ultrazvukově čištěna a balena do čistých prostor třídy 100.
