Vysoce čistý keramický těsnicí kroužek z oxidu hlinitého pro utěsnění komory za vysokých teplot
Keramický těsnicí kroužek St.Cera je navržen jako alternativa k polymerním O-kroužkům v extrémních prostředích, kde dochází k degradaci elastomeru. Tento pevný těsnicí kroužek, vyrobený z 99,8% vysoce čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), se používá ve statických těsnicích aplikacích – obvykle v kombinaci s měkkým kovovým nebo grafitovým těsněním – k zajištění spolehlivého vakua nebo zadržení plynu při teplotách až 800 °C a v agresivním plazmovém nebo chemickém prostředí. Materiál nabízí nulové uvolňování plynů, vysokou pevnost v tlaku (základní pevnost v ohybu 361 MPa) a chemickou inertnost (odolný vůči halogenům, kyselinám a zásadám s výjimkou HF). Přesně lapované těsnicí plochy (rovnost ≤ 5 μm, drsnost povrchu Ra ≤ 0,2 μm) zajišťují těsný kontakt s kovovými nebo keramickými součástmi.
Specifikace(na základě 99,8% Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Absorpce vody | 0% |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Pevnost v tlaku (odhad) | >2000 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Tepelná roztažnost (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maximální provozní teplota | 800 °C (vzduch), 1600 °C (inertní) |
| Povrchová úprava (těsnicí plocha) | Ra ≤0,2 μm (lapováno) |
| Rovinnost (na 25 mm) | ≤5 μm |
| Míra úniku hélia | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (s vhodným těsněním) |
Aplikace:
- · Statická těsnění pro polovodičové procesní komory (CVD, PVD, leptání)
- · Těsnění dvířek pece pro vysoké teploty
- · Vakuové průchodkové příruby
- · Uzávěry chemických reaktorových nádob
Výrobní proces:
Izostatické lisování → spékání při 1600 °C → přesné oboustranné lapování pro dosažení ultra plochých a hladkých těsnicích ploch → zkosení hran → ultrazvukové čištění. Každý kroužek je 100% testován na těsnost na heliovém detektoru netěsností se standardním kovovým těsněním.
Kontrola kvality:
- · Kontrola rozměrů (vnitřní průměr, vnější průměr, tloušťka, rovnoběžnost) na souřadnicovém měřicím stroji (CMM)
- · Povrchový profilometr pro Ra a vlnitost
- · Měření rovinnosti pomocí optické plošky
- · Zkouška těsnosti heliem (metoda zpětného tlaku)
Výhody oproti polymerovým O-kroužkům:
- · Odolává 800°C vs. <300°C pro FFKM
- · Nulové odplyňování – žádná kontaminace vakuového prostředí
- · Odolný vůči všem plazmovým chemikáliím (fluor, chlor, kyslík)
- · Žádná deformace v tlaku ani trvalá deformace
- · Neomezená životnost v čistém prostředí
Omezení (kritické poznámky):
- · Není to O-kroužek— jedná se o pevný keramický kroužek, který k utěsnění vyžaduje měkké těsnění (měděné, hliníkové nebo grafitové).
- · Nezvládá dynamický pohyb ani velké nesouososti přírub.
- · Vyšší počáteční náklady než u polymerových O-kroužků, ale delší životnost snižuje náklady na vlastnictví.
- · Křehké – zacházejte opatrně; vyvarujte se bodových nárazů nebo ohybového namáhání.
Poznámka:Výše uvedené údaje striktně odpovídají dodané tabulce vlastností Al₂O₃. Nebyly poskytnuty žádné údaje o elastomerních materiálech. Tento produkt je statický těsnicí kroužek, nikoli elastomerový O-kroužek. Potvrďte prosím, zda splňuje požadavky vaší aplikace.
