-
Robotické rameno z vysoce čistého oxidu hlinitého s keramikou pro manipulaci s destičkami
Robotické rameno z oxidu hlinitého (oxid hlinitý) od společnosti St.Cera je precizně vyrobeno z 99,8 % vysoce čistého Al₂O₃ (oxidu hlinitého). Spojuje v sobě výjimečnou pevnost v ohybu (361 MPa), vysokou tvrdost (16 GPa) a nízkou hustotu (3,93 g/cm³), což vede k lehkému, ale zároveň pevnému rameni pro přenos polovodičových destiček. Koeficient tepelné roztažnosti materiálu (7,2×10⁻⁶/°C) se úzce shoduje s křemíkem, čímž se minimalizuje tepelný nesoulad během zpracování.
-
Bernoulliho keramický koncový efektor – bezkontaktní manipulace s tenkými a křehkými destičkami
Keramický koncový efektor Bernoulli od společnosti St.Cera využívá aerodynamický vztlak k manipulaci s destičkami bez fyzického kontaktu. Je vyroben z vysoce čistého 99,8% oxidu hlinitého (Al₂O₃) nebo karbidu křemíku (SiC) a je vybaven přesně obrobenými tryskami, které vstřikují stlačený plyn a vytvářejí tak tenký vzduchový film mezi koncovým efektorem a destičkou. Tento bezkontaktní princip eliminuje kontaminaci zadní strany, odštípávání hran a poškození povrchu, což je ideální pro tenké (≤100 μm), křehké nebo deformované destičky. Keramický substrát poskytuje vysokou pevnost v ohybu (361 MPa pro Al₂O₃; až 550–600 MPa pro SiC), nízkou hmotnost a vynikající rozměrovou stabilitu, což zajišťuje opakovatelné polohování ve vysokorychlostních robotech pro přenos destiček.
-
Teflonem potažený keramický koncový efektor – nepřilnavý povrch pro citlivou manipulaci s destičkami
Teflonový (PTFE) povlak z keramiky od společnosti St.Cera kombinuje vysoce pevný substrát z oxidu hlinitého s rovnoměrným povlakem z PTFE s nízkým třením (tloušťka 15–30 μm). Povlak poskytuje extrémně nízký koeficient tření (≤0,1), vynikající chemickou odolnost a nepřilnavé vlastnosti, čímž zabraňuje přilnutí destiček a eliminuje kontaminaci zadní strany. Podkladový keramický substrát (99,8 % Al₂O₃) nabízí vysokou pevnost v ohybu (361–1000 MPa), odolnost proti opotřebení a tepelnou stabilitu až do 260 °C (limit povlaku). Tento koncový efektor je ideální pro manipulaci s jemnými, tenkými nebo lepkavými destičkami (např. po fotorezistním povlaku nebo chemických procesech).
