Robotické rameno z vysoce čistého oxidu hlinitého s keramikou pro manipulaci s destičkami
Robotické rameno z oxidu hlinitého (oxid hlinitý) od společnosti St.Cera je precizně vyrobeno z 99,8 % vysoce čistého Al₂O₃ (oxidu hlinitého). Spojuje v sobě výjimečnou pevnost v ohybu (361 MPa), vysokou tvrdost (16 GPa) a nízkou hustotu (3,93 g/cm³), což vede k lehkému, ale zároveň pevnému rameni pro přenos polovodičových destiček. Koeficient tepelné roztažnosti materiálu (7,2×10⁻⁶/°C) se úzce shoduje s křemíkem, čímž se minimalizuje tepelný nesoulad během zpracování.
Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Barva | Slonová kost |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Youngův modul | 380 GPa |
| Tepelná vodivost | 32 W/m·k |
| Tepelná roztažnost | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrická pevnost | 15×10⁶ V/m |
Aplikace:
- Vakuové roboty pro přenos destiček (200 mm/300 mm)
- Systémy pro manipulaci s atmosférou
- Koncová ramena efektorů pro automatizaci FAB
Výrobní proces:
Izostatické lisování → zelené obrábění → spékání při 1600 °C → přesné CNC broušení → ultrazvukové čištění → balení pro čisté prostory třídy 100. Každé rameno je 100% kontrolováno souřadnicovým měřicím strojem (CMM) na rovinnost (±0,01 mm) a drsnost povrchu (Ra ≤0,4 μm).
Kontrola kvality:
Společnost St.Cera je držitelem certifikace ISO 9001:2015. Provádíme zkoušky penetrantem na mikrotrhliny, tříbodové ohybové zkoušky na pevnost v ohybu a zkoušky dielektrické pevnosti dle normy ASTM D149.
Výhody oproti kovovým ramenům:
- O 50 % lehčí než nerezová ocel
- Bez galvanické koroze
- Nižší tvorba částic (≤0,05 částic/cm²)
- K dispozici je povrchová úprava odolná proti elektrostatickému odporu (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Přizpůsobení:
Délky od 150 mm do 450 mm, tvary hrotů (úchop hran, Bernoulliho, vakuový) a montážní vzory přírub dle výkresů výrobce. Prototypy do 2 týdnů.
Pro hromadné objednávky si prosím vyžádejte cenovou nabídku.
