Vysoce čisté keramické jádro z oxidu hlinitého pro polovodičové přípravky
Jádro z oxidu hlinitého od společnosti St.Cera je přesně tvarované z 99,8 % vysoce čistého Al₂O₃ a nabízí výjimečnou dielektrickou pevnost (15×10⁶ V/m), tepelnou stabilitu až do 1600 °C a odolnost proti tečení při zatížení. Tato jádra se používají jako konstrukční prvky ve vysokoteplotních procesních přípravcích, základnách ohřívačů, vložkách plazmových komor a elektrických izolátorech. Vysoká tvrdost materiálu (16 GPa) a nízká nasákavost (0 %) zajišťují dlouhodobou spolehlivost v náročných podmínkách.
Specifikace(na základě 99,8% Al₂O₃):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Lomová houževnatost | 3–4 MPa·m¹/² |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Youngův modul | 380 GPa |
| Tepelná vodivost | 32 W/m·k |
| Tepelná roztažnost (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrická pevnost | 15×10⁶ V/m |
| Měrný odpor | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximální provozní teplota | 1600 °C |
Aplikace:
- · Ohřívací jádro pro epitaxní reaktory
- · Vložka a krycí desky plazmové komory
- · Vysokonapěťové elektrické izolátory
- · Upínací základna pro roboty pro manipulaci s wafery
Výrobní:
Izostatické lisování → obrábění za studena → spékání při 1600 °C → CNC broušení na konečné rozměry (tolerance ±0,01 mm). Každé jádro je kontrolováno pomocí SMS a ultrazvukové defektoskopie.
Zajištění kvality:
Certifikace ISO 9001:2015. Zkouška penetrantem barviva na povrchové trhliny; zkouška dielektrické pevnosti dle ASTM D149.
AVýhody oproti jiným keramickým výrobkům:
- · Vyšší dielektrická pevnost než zirkon (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Nižší náklady než SiC pro neplazmové aplikace
- · Vynikající chemická odolnost vůči halogenům (kromě HF)
Vlastní tvary:
Válce, čtvercové tyče, desky nebo složité geometrie. Minimální velikost prvku 0,5 mm.
Kontaktujte nás pro návrhy jádra na zakázku a podporu tepelných simulací.
