Velkoformátová keramická deska z oxidu hlinitého pro polovodičová a průmyslová zařízení
Společnost St.Cera vyrábí velkoformátové keramické desky z 99,8% vysoce čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) s maximálními rozměry až 1500 mm na délku a 600 mm na šířku. Naše přesné broušení dosahuje rovinnosti 0,003 mm na 100 mm a rovnoběžnosti 0,002 mm, což zajišťuje konzistentní kvalitu povrchu pro velkoplošné aplikace. Tloušťka až 100 mm, povrchová úprava až Ra0,1. Tyto desky slouží jako základny vakuových upínačů, topné desky, elektroizolační panely a dna procesních komor při výrobě polovodičů, displejů a fotovoltaiky. K dispozici jsou průchozí otvory, zahlubování a profilování hran.
Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃a výrobní kapacity společnosti St.Cera):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Dielektrická pevnost | 15×10⁶ V/m |
| Maximální délka | 1500 mm |
| Maximální šířka | 600 mm |
| Maximální tloušťka | 100mm |
| Rovinnost (na 100 mm) | 0,003 mm |
| Rovnoběžnost | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0.1 (lapované/leštěné) |
| Maximální provozní teplota | 1600 °C |
Aplikace:
- · Vakuové upínací desky pro velké destičky a panely
- · Topné desky pro zařízení pro tepelné zpracování
- · Elektrické izolační panely ve vysokonapěťových systémech
- · Podlahy a obložkové desky procesních komor
Přesnost výroby:
Přímost: 0,005 mm, kolmost: 0,005 mm, ověřeno laserovým interferometrem.
Výhody oproti kovovým deskám:
- · Žádná kovová kontaminace – zásadní pro polovodičové procesy
- · Nulové odplyňování – ideální pro vakuové prostředí
- · Vynikající odolnost proti opotřebení a chemikáliím
Přizpůsobení:
K dispozici jsou zakázkové vzory otvorů, profily hran, stupňovité povrchy a metalizované montážní oblasti.
