Izolační kroužek z oxidu hlinitého PVD pro systémy fyzikálního napařování
Izolační kroužek PVD od společnosti St.Cera je vyroben z 99,8% vysoce čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pro použití v systémech fyzikálního nanášení z plynné fáze (PVD). Kroužek zajišťuje elektrickou izolaci mezi komponenty komory, zabraňuje vzniku oblouku a zajišťuje stabilní provoz plazmatu. Mezi klíčové vlastnosti patří vysoká dielektrická pevnost (15×10⁶ V/m), měrný odpor >10¹⁴ Ω·mm²/m a tepelná stabilita až do 1600 °C. Naše možnosti přesného obrábění dosahují vnějších průměrů až 600 mm, vnitřních průměrů až 0,2 mm, rovinnosti 0,003 mm a povrchové úpravy Ra0,1. Nulová pórovitost a chemická inertnost kroužku zajišťují dlouhodobou spolehlivost v agresivním prostředí naprašování.
Specifikace (na základě 99,8% Al₂O₃a výrobní kapacity společnosti St.Cera):
| Vlastnictví | Hodnota |
| Materiál | 99,8% oxid hlinitý (slonovinová kost) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnost v ohybu | 361 MPa |
| Tvrdost podle Vickerse | 16 GPa |
| Dielektrická pevnost | 15×10⁶ V/m |
| Měrný odpor | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximální vnější průměr | 600 mm |
| Minimální vnitřní průměr | 0,2 mm |
| Maximální tloušťka | 100mm |
| Plochost | 0,003 mm |
| Rovnoběžnost | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0,1 |
| Maximální provozní teplota | 1600 °C |
Aplikace:
- · Izolátory pro podkladové desky terčů v PVD systémech
- · Průchodkové izolátory komory
- · Stínicí kroužkové izolátory v naprašovacích systémech
- · Izolace vysokého napětí v plazmových komorách
Přesnost výroby:
Soustřednost: 0,01 mm, kruhovitost: 0,002 mm, přímost: 0,005 mm, kolmost: 0,005 mm, ověřeno SMS.
AVýhody oproti polymerovým izolátorům:
- · Odolává teplotám 1600 °C oproti limitu <300 °C u polymerů
- · Bez odplyňování – zachovává integritu vakua
- · Odolává plazmové erozi a chemickému napadení
Přizpůsobení:
K dispozici jsou zakázkové průřezy, montážní prvky, stupňovité profily a několik provedení soustředných prstenců.
