V kombinaci s komplexními výkonnostními výhodami tradičních substrátových materiálů Al2O3 a BeO je keramika nitrid hliníku (AlN), která má vysokou tepelnou vodivost (teoretická tepelná vodivost monokrystalu je 275 W/m•k， teoretická tepelná vodivost polykrystalu je 70~210W/m•k ), nízká dielektrická konstanta, koeficient tepelné roztažnosti odpovídající monokrystalu křemíku a dobré elektrické izolační vlastnosti, je ideálním materiálem pro obvodové substráty a obaly v mikroelektronickém průmyslu.Je to také důležitý materiál pro vysokoteplotní konstrukční keramické komponenty díky dobrým vysokoteplotním mechanickým vlastnostem, tepelným vlastnostem a chemické stabilitě.
Teoretická hustota AlN je 3,26 g/cm3, tvrdost MOHS je 7-8, rezistivita při pokojové teplotě je větší než 1016Ωm a tepelná roztažnost je 3,5×10-6/℃ (pokojová teplota 200℃).Keramika z čistého AlN je bezbarvá a průhledná, ale kvůli nečistotám může mít různé barvy jako šedá, šedobílá nebo světle žlutá.
Kromě vysoké tepelné vodivosti má keramika AlN také následující výhody:
1. Dobrá elektrická izolace;
2. Podobný koeficient tepelné roztažnosti jako u monokrystalu křemíku, lepší než u materiálů jako Al2O3 a BeO;
3. Vysoká mechanická pevnost a podobná pevnost v ohybu s keramikou Al2O3;
4. Střední dielektrická konstanta a dielektrické ztráty;
5. Ve srovnání s BeO je tepelná vodivost keramiky AlN méně ovlivněna teplotou, zejména nad 200 °C;
6. Vysoká teplotní odolnost a odolnost proti korozi;
7. Netoxický;
8. Aplikovat na polovodičový průmysl, průmysl chemické metalurgie a další průmyslové obory.
Čas odeslání: 14. července 2023