Díky vlastnostem odolnosti proti vysoké teplotě, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů s podmínkami vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu po dlouhou dobu
Díky vlastnostem odolnosti proti vysoké teplotě, odolnosti proti korozi, odolnosti proti oděru a izolaci může keramika pracovat v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů s podmínkami vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu po dlouhou dobu.
Jedná se o keramický koncový efektor / manipulační rameno typu tácu používané ve vakuu.
Keramický koncový efektor / manipulační rameno je „teplu odolnější“, „méně ohebné“ a „lehčí“ ve srovnání s kovovými.
Jako přední výrobce keramického koncového efektoru / manipulačního ramene jsme vyvinuli nekonvenční koncový efektor / manipulační rameno, které odpovídá potřebám tohoto trhu.Keramické koncové / manipulační rameno založené na principu Bernoulli, které může levitovat a přepravovat wafer proudem vzduchu s minimálním periferním kontaktem.